有機ケイ素を用いたイオン誘起CVD法の開発
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概要
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- 2002-01-20
著者
-
後藤 誠一
大阪大 大学院工学研究科
-
後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
-
後藤 誠一
大阪大学工学部超高温理工学研究施設
-
木内 正人
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
松谷 貴臣
産業技術総合研究所
-
浅沼 達哉
産業技術総合研究所
-
劉 昌
産業技術総合研究所
-
竹内 孝江
奈良女子大学
-
木内 正人
産業技術総合研
-
竹内 孝江
産業技術総合研究所
-
後藤 誠一
大阪大学工学部
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