実環境下でのプロセス・特性評価のための収差補正・環境制御型透過電子顕微鏡とその応用

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概要

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• 2011-03-30

著者

• 竹田 精治

  大阪大学・大学院理学研究科

• 吉田 秀人

  大阪大学・産業科学研究所

• KUJAWA Stephan

  FEI Company

• 桑内 康文

  大阪大学・大学院理学研究科

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