Strain analysis of arsenic-doped silicon using CBED rocking curves of low-order reflections

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概要

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• 2007-04-01

著者

• 津田 健治

  東北大多元研

• 寺内 正己

  東北大多元研

• 津田 健治

  東北大学多元物質科学研究所

• Tsuda Kenji

  Institute Of Multidisciplinary Research For Advanced Materials Tohoku University

• Tsuda Kenji

  Fujitsu Ltd.

• Tsuda K

  Tohoku Univ. Sendai

• Terauchi Masami

  Institute For Multidisciplinary Research For Advanced Materials Tohoku University

• KAWAMURA Kazuo

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• Kawamura Kazuo

  Fujitsu Ltd

• MITSUISHI Hajime

  Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University

• Mitsuishi Hajime

  Institute Of Multidisciplinary Research For Advanced Materials Tohoku University

• TSUDA Kenji

  Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials (IMRAM), Tohoku University

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