カルーセルスパッタ法における異方性入射粒子の形成と堆積に及ぼす下地層の影響

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概要

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• 2010-12-16

著者

• 宗像 誠

  崇城大学

• 大越 正敏

  九州工業大学

• 大越 正敏

  九州工大 情報工

• 大越 正敏

  九州工業大学情報工学部

• 今泉 良一

  崇城大学

• 槙 孝一郎

  住友金属鉱山

• 宗像 誠

  崇城大学情報学部

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