スパッタ粒子堆積シュミレーションによるCoFeB膜の異方性磁界の検討

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概要

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• 2008-12-18

著者

• 宗像 誠

  崇城大学

• 大越 正敏

  九州工業大学

• 大越 正敏

  九州工大 情報工

• 大越 正敏

  九州工業大学情報工学部

• 今泉 良一

  崇城大学

• 槙 孝一郎

  住友金属鉱山

• 宗像 誠

  崇城大学情報学部

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