カルーセルスパッタ法で作製したCoFeB膜におけるスパッタ粒子の異方性入射効果
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概要
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- 2009-08-07
著者
-
宗像 誠
崇城大学
-
大越 正敏
九州工業大学
-
大越 正敏
九州工大 情報工
-
大越 正敏
九州工業大学情報工学部
-
青木 振一
崇城大学
-
今泉 良一
崇城大学
-
槙 孝一郎
住友金属鉱山
-
田原 誠
崇城大学
-
宗像 誠
崇城大学情報学部
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