アトムプローブ法によるメタノール中の通電により金属基材上に堆積した炭素系被膜の分析

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概要

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•   Diamond-like Carbon (DLC) films were deposited on nickel sheets and tungsten tips by liquid-phase electrodeposition, and were investigated by using field emission scanning electron microscopy (FE-SEM), Raman spectroscopy and atom probe (AP). The surface morphology of the deposited films was observed by FE-SEM. It can be seen that the films were composed of small grains. Raman spectra of the films exhibited two broad peaks around 1200-1450 cm-1 called D-peak and 1500-1700 cm-1 called G-peak. By AP analysis, some hydrocarbon ions were detected. It indicates that the films were composed by not only carbon but also hydrogen.

• 日本真空協会の論文
• 2009-03-20

著者

• 尾張 真則

  東京大学生産技術研究所

• 岩田 達夫

  東京大学生産技術研究所

• 吉田 寛之

  東京大学生産技術研究所

• 森田 能弘

  東京大学生産技術研究所

• 間山 憲仁

  東京大学生産技術研究所

• 黒田 哲人

  東京大学生産技術研究所

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