スパッタ法を用いたMnN_x薄膜の成膜条件と微細構造
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概要
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- 2003-09-01
著者
-
千葉 雅史
東海大学開発工学部
-
小泉 義晴
東海大学工学部
-
小泉 義晴
東海大学大学院工学研究科
-
小泉 義晴
東海大学工学部応用理学科
-
小泉 義晴
東海大
-
小泉 義晴
東海大 電子情報
-
小泉 義晴
東海大院工
-
千葉 雅史
東海大院開発工
-
内藤 伸也
東海大院開発工
-
森尾 和正
東海大院工
-
森尾 和正
東海大学大学院工学研究科
-
千葉 雅史
東海大 開発工
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