Fe-Ni複合ターゲットを用いた窒化物薄膜の作製
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2001-08-10
著者
-
千葉 雅史
東海大学開発工学部
-
小泉 義晴
東海大学工学部
-
小泉 義晴
東海大学大学院工学研究科
-
小泉 義晴
東海大学工学部応用理学科
-
小泉 義晴
東海大
-
小泉 義晴
東海大 電子情報
-
森尾 和正
東海大学大学院工学研究科
-
千葉 雅史
東海大 開発工
-
千葉 雅史
東海大学開発工
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