Mg-Ni 系合金薄膜の水中浸漬処理による構造変化と光学的特性

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概要

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本研究ではスパッタ法を用いて組成の異なるMg-Ni 系薄膜を作製してそれを出発試料とした.得られた試料を水中で水酸化処理を行い,浸漬前後の試料の結晶構造および光学的特性について検討を行った.X 線による結晶構造解析では,組成比により異なった膜構造をとることが明らかとなり,特にNi 濃度30at%ではMg2Ni の合金相が現れた.水中浸漬実験の結果,Ni 濃度21at%以下の出発試料では膜全体の透明化が進行し,30at%以上の試料では透明化が進行せずに膜の剥離が発生した.同様に浸漬後の試料の結晶構造解析を行った結果,Ni 濃度が30at%で作製した薄膜は,金属間化合物であるMg2Ni の生成にともなう回折線が顕著になった.さらに可視光領域における透過率測定では,Ni 濃度10at%の出発試料のものは77%の高い透過率を示す透明薄膜になり,Ni 濃度の増加に伴って膜は着色が深くなり,透過率が低下する傾向が見られた.
2011-03-31

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