水中浸漬法を適用したMg-Fe系薄膜の構造ならびに光学的評価
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概要
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本研究ではスパッタ法によるMg-Fe 系薄膜の作製を行い, 得られた試料を水中浸漬することで水酸化処理を行い, 浸漬前後の試料の結晶構造および光学的特性について検討を行った. X 線回折を用いた結晶構造解析では, Mg とFe が非固溶系であることから, 得られた試料には新たな合金相がみられず, Fe の濃度の上昇とともにMg に一致する回折線の減衰が見られた. 水中浸漬実験を行った結果, Fe の濃度11%以下の試料では膜が剥離することなく透明化が進行し, 17%以上の試料では膜の剥離が見られた. 同様に浸漬後の試料の結晶構造解析を行った結果, 回折線を確認することができなかった. さらに透過率測定では可視光領域において, Fe の濃度7%の試料は90%程度の透過率を持つ無色透明の薄膜になり, 11%の試料では短波長側で吸収がみられ黄色透明の薄膜が得られた.
- 2010-03-31
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