研磨加工における発生音響周波数

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1998-03-05

著者

• 河西 敏雄

  埼玉大

• 長田 佐

  山梨大

• 大内 英俊

  山梨大

関連論文

• 427 極座標型ロボットによる非球面研磨の基礎検討(OS12 研削・砥粒加工)
• 金属Cuの鏡面研磨加工(5):LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングの基礎検討
• 金属Cuの鏡面研磨加工(4) : LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングに基礎検討
• ラッピングにおける発生振動周波数について
• 低熱膨張ガラスの鏡面研磨おける工具と砥粒
• 424 微粒メタルレス導電性レジンボンド砥石によるELIDラップ研削特性(OS12 研削・砥粒加工)
• 419 軟質ミラー材料のナノオーダー鏡面研磨(OS12 研削・砥粒加工)
• 232 円盤状小径回転ツールのポリシング特性(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
• 315 片V形鋳鉄ボンド砥石のミスト放電ツルーイング(生産技術その2)
• 陽極酸化を援用した固定砥粒ポリッシングマシンの開発と適用効果(第1報)
• 超硬合金のELID鏡面研削切断特性
• 459 Siウエハの複合加工(切削・研削・研磨加工II,オーガナイズドセッション)
• 252 シリコンウエハの研磨に関する研究(切削・研削・研磨加工III)
• 560 レーザ光散乱法によるシリコンウェハ表面の検査(切削・研削・研磨加工III)
• 558 研磨運動の相違に基づく加工特性(切削・研削・研磨加工III)
• GSOのELID研削加工特性
• 505 GSOの薄板のELID研削加工特性(機械工作・生産工学)
• マイクロ波加工
• 1023 圧電噴射ポンプによる管内流動粒子の選別実験(GS-5 流体機械)
• 微振動接触方式による精密内径測定に関する研究
• 微振動接触方式による精密形状測定に関する研究
• 金属ラッピングにおける発生振動
• 702 圧電噴射ポンプに関する基礎的研究 : 第2報 ポンプ室内に発生する気泡の影響について(流体パワーによる駆動と制御I,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
• 805 圧電噴射ポンプに関する基礎的研究 : 第1報 噴射方式の提案(流体パワーによる駆動と制御)
• 802 センサスイッチによる空気圧シリンダの位置決め : 停止位置の検出についての検討(流体パワーによる駆動と制御)
• 801 ノズルフラッパ弁の流体力補償に関する研究 : 圧電フラッパのヒステリシス軽減について(流体パワーによる駆動と制御)
• 852 積層形圧電アクチュエータの連続跳躍動作を利用した空気圧オンオフ弁の試作
• 可変容量形偶数ピストンポンプのアクティブ騒音制御に関する研究 : (第1報 騒音低減手法の実験的探索)
• 703 積層形圧電アクチュエータの打撃力を利用した空気圧バルブによるシリンダの微小駆動
• 可変容量形ピストンポンプの加振力補償による騒音低減 : 補償効果の実験的検証
• 圧電素子を利用した力センサの静特性の改善
• 加工監視のための圧電セラミックスセンサの利用
• 723 センサスイッチを利用した空気圧シリンダの位置決め(O.S. 油圧空気圧による駆動と制御I)(油圧空気圧による駆動と制御)
• センサスイッチを利用した空気圧シリンダの位置決め制御
• 金属Cuの鏡面研磨加工(2) : LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングの基礎検討
• 光学素子材料のポリシング条件と方式 : 第2報 : 加工面形状精度について
• CVD-SiC膜のスーパースムーズポリシング(4)
• 金属Cuの鏡面研磨加工(1) : LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングの基礎検討
• 川砂や焼却炭灰を用いた研磨剤について : 研磨加工における環境保全・省エネルギー・省資源について(1)
• CVD-SiC膜のスーパースムーズポリシング(3)
• 新型バレル研磨機による硬脆材料の鏡面研磨
• CVD-SiC 膜のスーパースムーズポリシング(2)
• ELIDラップ研削盤"ヒカリオン"による硬脆材料の加工特性
• ELIDラップ研削盤ヒカリオンによる両面研削特性
• 圧電素子を用いた単粒研削用動力計の出力特性 : 硬ぜい材料の単粒研削(第1報)
• 顕微鏡像の画像処理
• 圧電素子を用いた押圧力測定センサの出力特性
• 電空変換器による空気圧シリンダの制御
• F-0525 EPDペレットによるSiウエハの鏡面研削 : 空気冷却による冷却効果について(J17-2 マイクロトライボロジー&プロセッシング(2))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
• 409 ガラス表面のレーザ微細成形加工
• 813 ELID研削による脆性材料の薄片化の試み(ELID研削)(OS.1 生産加工・工作機械)
• 416 プラスチックの超精密切削
• ELIDラップ研削盤"Lap de Top"による硬脆材料の加工特性
• 702 圧電アクチュエータの打撃力を用いた微動機構の基本特性(流体パワーによる駆動と制御I,オーガナイズドセッション)
• 鉄系金型材料の鏡面研磨に関する研究(第1報) -スチールボール鏡面研磨による研磨剤の選択-
• 754 油圧6軸モーションベースにおける供給圧力変動の影響に関する研究 : 弁開度についての検討(流体パワーによる駆動と制御I)
• 312 電解インプロセスドレッシング(ELID)研削法による自由曲面研削システムの開発 : 第3報(機械加工)
• 可変容量形ピストンポンプの斜板振動制御による騒音低減
• 可変容量形油圧ピストンポンプの騒音低減--アクティブ制振による低騒音化 (特集 油空圧における騒音のメカニズムとその低減制御(2))
• 702 ノズルフラッパ弁の流体力補償に関する研究
• 空気圧による小物部品の供給と整列
• 空気圧を用いた物体のハンドリングと検出 第2報
• 空気圧を用いた物体のハンドリングと検出
• 753 近接スイッチを利用した空気圧シリンダの位置決め制御 : 目標位置への収束の迅速化(流体パワーによる駆動と制御I)
• 可変容量形偶数ピストンポンプの斜板振動と騒音
• 751 圧電素子を利用した微動機構に関する研究(流体パワーによる駆動と制御I)
• 川砂を用いた各種金属材料のラッピング : 研磨加工における環境保全・省エネルギー・省資源について(3)
• ラップ振動による研磨加工監視の基礎検討
• 可聴音によるラッピングの監視
• 金属ラッピングにおける発生振動周波数 : 振動モデルによる検討
• 積層圧電アクチュエータの跳躍動作を利用した空気圧オンオフ弁
• 研磨加工における発生音響周波数
• 圧電セラミックセンサによる研磨加工中の監視(第2報) : 円すいホーンを利用した音響検出
• 積層圧電素子の打撃力を利用した空気圧制御弁の研究
• 圧電セラミックスセンサによる研磨加工中の監視(第1報) : 加工条件と発生音響の関係
• 超音波PWMバルブによる空気圧シリンダの位置および力制御(第1報) : シミュレーションと実験による制御法の検討
• 砥粒切れ刃形状の測定機とパターン認識
• 電空変換器による空気圧シリンダの中間停止位置制御 (第2報)
• 空気圧を用いた物体のハンドリングと検出 第3報
• ELIDラップ研削による平滑加工面の創成
• 705 油圧モーションベースの制御における非対称シリンダの影響に関する研究(流体パワーによる駆動と制御II,オーガナイズドセッション)
• 703 空気流による薄板状物体の非接触把持に関する研究(流体パワーによる駆動と制御I,オーガナイズドセッション)
• 701 近接スイッチを利用した空気圧シリンダの位置決め制御 : 初期偏差の低減について(流体パワーによる駆動と制御I,オーガナイズドセッション)
• 756 油圧6軸モーションベースにおける軌跡制御に関する研究(流体パワーによる駆動と制御II)
• 753 圧電噴射ポンプによる粒子選別に関する研究(流体パワーによる駆動と制御I)
• 752 空気流による薄板状物体の把持に関する研究(流体パワーによる駆動と制御I)
• 751 近接スイッチを利用した空気圧シリンダの位置決め制御 : 鉛直方向に設置した場合について(流体パワーによる駆動と制御I)
• 752 油圧アクチュエータの省エネルギ駆動に関する基礎的研究(流体パワーによる駆動と制御I)
• 701 6軸モーションベースにおける供給圧力変動の影響に関する研究(流体パワーによる駆動と制御I,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
• 直動形油圧サーボ弁の流体力の測定とその利用 (特集:最新のサーボ弁・サーボシステム)
• 201 近接スイッチを利用した空気圧シリンダの位置決め制御 : 停止直後の戻り現象について(流体パワーによる駆動と制御I)
• 202 空気流による薄板状物体の非接触把持 : 噴出口付近の圧力分布について(流体パワーによる駆動と制御I)
• X線ミラー材のELIDポリシング特性
• 1419 圧電アクチュエータの打撃力を利用した微動機構(GS1 機械要素,オーガナイズドセッション:1 機械要素とトライボロジー)
• テーブルトップ型ELIDラップ研削盤の加工特性
• 可変容量形偶数ピストンポンプのアクティブ騒音制御に関する研究 : 第1報 騒音低減手法の実験的探索
• プレート弁に働く流体力の軽減に関する研究 (第3報 対向プレートによる実験的検討)
• CVD-SiC膜のスーパースムーズポリシング
• 201 近接スイッチを利用した空気圧シリンダの位置決め制御 : 負荷積載の影響(流体パワーによる駆動と制御I)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク