弾性表面波モータにおけるスライダの加圧方向の変位について
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概要
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- 1996-09-01
著者
-
樋口 俊郎
東京大学大学院工学研究科
-
黒澤 実
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
樋口 俊郎
東京大学
-
黒澤 実
東京大学 工学系研究科 精密機械工学専攻
-
千葉 真
東京大学
-
刑部 尚樹
東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
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