スパッタリング雰囲気の清浄性の超高密度磁気記録デバイス用薄膜の磁気性への影響

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1998-10-20

著者

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科

• 高橋 研

  東北大学工学部電子工学専攻

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