スパッタリング雰囲気の清浄性の磁気特性への影響

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• 1998-03-20

著者

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科

• 高橋 研

  東北大学工学部電子工学専攻

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