黒田 茂樹 | 沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
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概要
関連著者
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黒田 茂樹
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
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黒田 茂樹
沖電気工業
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西 謙二
近畿大工業高専
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西 謙二
沖電気工業株式会社超LSI研究開発センタ
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甲斐 和彦
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
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沖電気工業株式会社 シリコンソリューションカンパニー 研究本部
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沖電気工業株式会社電子デバイス事業本部
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坂倉 宏
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黒田 茂樹
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三輪 佳子
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沖電気工業 (株) 超LSI開発センタ
著作論文
- 統合シミュレーションシステムUNISAS-Xの開発
- プロセスシミュレ-ションにおける多層構造酸化モデルの開発
- インバースモデリング技術を用いたMOSFETチャネルプロファイル抽出法の検討
- LOCOSプロセス条件とアクティブの方向が接合リーク電流に与える影響
- サリサイドMOSFETのプロセス/デバイス一貫シミュレーション
- 内標準法に基づく浅いドーパントプロファイルの高精度SIMS測定
- 希釈ウェット雰囲気中のシリコン熱酸化モデルの検討
- プロセスシミュレーションの現状と課題