ターボ分子ポンプの排気特性への翼表面粗さの影響
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概要
著者
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杉山 渉
秋田大学工学資源学部
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渡辺 光徳
(株)大阪真空機器製作所 八王子工場技術部
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澤田 雅
秋田大学工学資源学部
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矢吹 益久
秋田大学大学院鉱山学研究科
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原田 沙織
国立福山病院附属看護学校
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沢田 雅
放送大学秋田学習センター
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矢吹 益久
鶴岡高専
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渡辺 光徳
秋田大学大学院鉱山学研究科
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渡辺 光徳
(株)大阪真空機器製作所
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矢吹 益久
秋田大学工学資源学部
-
澤田 雅
放送大学秋田学習センター
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