希薄気体流における流路の表面形状と下流側圧力の影響 : 真空用微小流量測定システムの製作

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2004-02-20

著者

• 杉山 渉

  秋田大学工学資源学部

• 澤田 雅

  秋田大学工学資源学部

• 矢吹 益久

  秋田大学工学資源学部機械工学科

• 沢田 雅

  放送大学秋田学習センター

• 矢吹 益久

  鶴岡高専

• 矢吹 益久

  秋田大学工学資源学部

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