310 ガス種によるドライ式スクロール真空ポンプの到達圧力の違い
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概要
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- 2002-09-06
著者
-
杉山 渉
秋田大学工学資源学部
-
土屋 勝
アネスト岩田(株)真空機器部
-
土屋 勝
アネスト岩田(株)真空ポンプ部
-
藤岡 学
アネスト岩田(株)真空機器部
-
藤岡 学
アネスト岩田(株)真空ポンプ部
-
澤田 雅
秋田大学鉱山学部
-
鎌田 信
秋田大院
-
矢吹 益久
秋田大院
-
澤田 雅
秋田大学工学資源学部
-
鎌田 信
秋田大学工学資源学部
-
沢田 雅
放送大学秋田学習センター
-
矢吹 益久
鶴岡高専
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矢吹 益久
秋田大学工学資源学部
-
澤田 雅
秋田大
-
杉山 渉
秋田大・院
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土屋 勝
アネスト岩田 (株) 真空ポンプ部
-
藤岡 学
アネスト岩田 (株) 真空ポンプ部
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