ドライ式スクロール真空ポンプの排気機構に関する実験的研究
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概要
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The validity of the theory concerning the pumping performance of a dry-scroll vacuum pump proposed by the authors has been examined using the following three experiments, (1) the separation of the direct effect of orbiting speed on the ultimate pressure from the effect of clearance change with temperature change accompanying a change in orbiting speed, (2) the measurement of local pressure in the outermost pocket, (3) the measurement of the pumping speed throughout the working pressure range. Comparison of the experimental results with the theoretical predictions confirms the validity of the theoretical treatment.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1997-03-25
著者
-
杉山 渉
秋田大学鉱山学部
-
澤田 雅
秋田大学鉱山学部
-
澤田 雅
秋田大学工学資源学部
-
竹本 淳一
アネスト岩田(株)
-
芳賀 修二
アネスト岩田(株)
-
蘇 宇
秋田大学大学院
-
沢田 雅
放送大学秋田学習センター
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