ドライ式スクロール真空ポンプの排気機構に関する理論的研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The leak flow through radial and axial clearances between fixed and orbiting scrolls is considered the dominant factor which determines the pumping performance of a dry-scroll vacuum pump. Since the leak flow sometimes ranges from viscous to slip to molecular flow along a clearance, an equation which is able to describe the flow through the three flow regimes is developed by the weighted linear combination of two equations for molecular flow and slip flow. The pressure distribution in gas pockets is considered another important factor for the pumping performance, which is calculated in the same manner as the leak flow. The predicted ultimate pressures show satisfactory agreement with the ultimate pressures of a practical machine.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1996-05-25
著者
-
澤田 雅
秋田大学鉱山学部
-
澤田 雅
秋田大学工学資源学部
-
竹本 淳一
アネスト岩田(株)
-
芳賀 修二
アネスト岩田(株)
-
蘇 宇
秋田大学大学院
-
沢田 雅
放送大学秋田学習センター
-
竹本 淳一
岩田塗装機工業
-
芳賀 修二
岩田塗装機工業
関連論文
- スクロール真空ポンプの排気性能に対するガスの種類及び半径すきまの影響
- スクロール真空ポンプの研究(ガス種による到達圧力の違い)
- 310 ガス種によるドライ式スクロール真空ポンプの到達圧力の違い
- スクロール真空ポンプの圧縮過程と到達圧力の関係
- 平行平板流路における希薄気体流への壁面の影響
- 平行平板間希薄気体流における実在表面のモデル化(流体工学,流体機械)
- 希薄気体流における流路の表面形状と下流側圧力の影響 : 真空用微小流量測定システムの製作
- 翼表面粗さを考慮したターボ分子ポンプの排気性能(流体工学,流体機械)
- ターボ分子ポンプの排気特性への翼表面粗さの影響(流体工学,流体機械)
- 1158 翼表面粗さを考慮したターボ分子ポンプの排気性能
- 312 ターボ分子ポンプの排気特性への翼表面粗さの影響(流体工学III)
- チャンネル内ガス流の流量減少を説明するための円錐凹凸粗さモデル
- 1202 実在表面の統計的表面粗さモデルを用いた平行平板間希薄気体流の解析
- ねじ溝式分子ドラグポンプの排気機構
- ドライ式スクロール真空ポンプの排気特性に関する研究(実験による理論の妥当性の検討)
- ダブルねじ溝式真空ポンプの試作
- ドライ式スクロール真空ポンプの排気機構に関する実験的研究
- 平行平板間希薄気体流のコンダクタンス
- ドライ式スクロール真空ポンプの排気機構に関する理論的研究
- ターボ分子ポンプの排気特性への翼表面粗さの影響
- ターボ翼の段間隙間が排気性能特性に及ぼす影響(流体工学,流体機械)
- ターボ翼の低真空性能予測に関する研究(流体工学,流体機械)
- 低真空領域で作動するねじ溝式真空ポンプ : 溝付きスリーブによる性能改善
- 複合分子ポンプの開発
- サボニウス風車の翼に作用する力の測定と翼まわりの流れの可視化
- 軸流分子ポンプの研究 : 第3報,試作および性能試験
- 軸流分子ポンプの研究 : (第3報, 試作および性能試験)
- 軸流分子ポンプの研究 : 第2報, 動翼と静翼の組合せについて
- 軸流分子ポンプの研究 : 第2報, 動翼と静翼の組合せについて
- 軸流分子ポンプの研究 : 第1報, 平板翼をもつ単列翼車の排気特性について
- 軸流分子ポンプの研究 : 第1報, 平板翼をもつ単列翼車の排気特性について
- ターボ分子ポンプの歴史と展望
- 各種ドライポンプの現状と課題
- 二段リード角のロータをもつスクリュー真空ポンプに関する研究
- スクリュー真空ポンプの排気性能予測に関する研究
- 推進用振動翼の実験的研究
- 309 表面粗さを設けた真空ポンプの排気特性(流体力学(2))
- ねじ形ガスダイナミックシールの真空密封特性 : 実験的特性および極低圧における密封性能の評価
- サマリー・アブストラクト
- ねじ形ガスダイナミックシールの自由分子流領域における特性
- スクロール真空ポンプの研究(ガス種による到達圧力の違い)
- 希薄ガスの平行平板間流れにおける表面粗さの影響 : 電解複合研磨したRa=0.04μmのアルミおよびステンレスの場合
- 高圧域で作動するねじ溝式真空ポンプ
- 希薄ガスの平行板間流れにおける表面粗さの影響
- ビンガム塑性流体の高レイノルズ数領域における脈動流れ : 第2報,理論的考察
- ビンガム塑性流体の高レイノルズ数領域における脈動流れ : 第1報,実験
- ねじみぞつきロータの低真空領域における排気性能
- ビンガム塑性流体の乱流解析モデルに関する研究 : 第1報,低いレイノルズ数を有する円管内乱流の解析
- 三角溝をもつ希薄ガスビスコシール : 第2報,実験
- ビンガム塑性流体の乱流解析を目的としたk-εモデル
- 溝断面形状の異なる希薄ガスビスコシールの密封性能の比較
- ねじみぞ式粘性真空ポンプ
- 円管内におけるビンガム塑性流体の乱流遷移に関する理論的研究
- 三角溝をもつ希薄ガスビスコシール : 第1報,理論
- 漏れがある希薄ガスビスコシールの特性
- ねじ形ガスダイナミックシールの真空密封特性
- ねじ形ガスダイナミックシールの真空密封特性
- 平成13年度第2回企画展「やってきた風力エネルギーの時代」
- 6. 特殊流体流 : 6・4 低密度気体 (機械工学年鑑(1990年)流体工学)
- 推進用振動翼の実験的研究
- 中間流およびすべり流領域における軸流分子ポンプの排気特性
- 中間流およびすべり流領域における軸流分子ポンプの排気特性
- 軸流分手ポンプの研究 : 第4報,中間流領域における単列羽根車の排気特性について
- 軸流分子ポンプの研究 : 第4報, 中間流領域における単列羽根車の排気特性について