ターボ分子ポンプの排気特性への翼表面粗さの影響(流体工学,流体機械)
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概要
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Turbomolecular pumps (TMPs) are widely used in the semiconductor and thin film industries. In order to prevent corrosion on TMPs, it is sometimes coated with ceramic (SiO_2) film. The coated film changes surface roughness of the blades, and it is considered to influence on the pumping performance. The effect of surface roughness of the blades on the pumping performance is studied experimentally. First, the maximum compression ratio and pumping speed factor are measured for the non-coated TMP. Next, the TMP coated with SiO_2 is tested. The experimental results showed that the blade surface roughness changed by SiO_2 coating improved the pumping performance.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-05-25
著者
-
杉山 渉
秋田大学工学資源学部
-
渡辺 光徳
(株)大阪真空機器製作所 八王子工場技術部
-
澤田 雅
秋田大学工学資源学部
-
矢吹 益久
秋田大学大学院鉱山学研究科
-
原田 沙織
国立福山病院附属看護学校
-
沢田 雅
放送大学秋田学習センター
-
矢吹 益久
鶴岡高専
-
渡辺 光徳
秋田大学大学院鉱山学研究科
-
渡辺 光徳
(株)大阪真空機器製作所
-
矢吹 益久
秋田大学工学資源学部
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