スクロール真空ポンプの研究(ガス種による到達圧力の違い)
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概要
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- 2003-03-20
著者
-
杉山 渉
秋田大学工学資源学部
-
土屋 勝
アネスト岩田(株)真空機器部
-
土屋 勝
アネスト岩田(株)真空ポンプ部
-
藤岡 学
アネスト岩田(株)真空機器部
-
藤岡 学
アネスト岩田(株)真空ポンプ部
-
澤田 雅
秋田大学工学資源学部
-
矢吹 益久
秋田大学工学資源学部機械工学科
-
鎌田 信
秋田大学工学資源学部
-
沢田 雅
放送大学秋田学習センター
-
矢吹 益久
鶴岡高専
-
矢吹 益久
秋田大学工学資源学部
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