ねじ形ガスダイナミックシールの真空密封特性 : 実験的特性および極低圧における密封性能の評価
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概要
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長方形ねじみぞをもつガスダイナミックシールの密封特性についてさきに報告した理論の適用範囲を確かめるため、自由分子流からすべり流にいたる範囲で幾何学的諸元の異なる数種のシールに対して系統的な実験を行った。また極低圧におけるシールの性能を正しく評価するために、新しい密封係数を提案し、自由分子流条件の下で計算し、その適用範囲を検討した。最後に希薄ガスダイナミックシールの最適形状の選択に関する指針を与えた。*本論文はBulletin of the JSME, Vol. 24, No. 195(1981-9)にオリジナル論文掲載予定。[別刷記号(No. 195-20)]
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1981-09-01
著者
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