スクロール真空ポンプの排気性能に対するガスの種類及び半径すきまの影響
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概要
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- 2004-01-20
著者
-
杉山 渉
秋田大学工学資源学部
-
土屋 勝
アネスト岩田(株)真空機器部
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土屋 勝
アネスト岩田(株)真空ポンプ部
-
藤岡 学
アネスト岩田(株)真空機器部
-
藤岡 学
アネスト岩田(株)真空ポンプ部
-
澤田 雅
秋田大学工学資源学部
-
矢吹 益久
秋田大学工学資源学部機械工学科
-
鎌田 信
秋田大学工学資源学部
-
沢田 雅
放送大学秋田学習センター
-
矢吹 益久
鶴岡高専
-
矢吹 益久
秋田大学工学資源学部
-
土屋 勝
アネスト岩田 (株) 真空ポンプ部
-
藤岡 学
アネスト岩田 (株) 真空ポンプ部
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