Fabrication and Characterization of Double-Layer Pb(Zr,Ti)O Thin Films for Micro-Electromechanical Systems (Special Issue : Ferroelectric Materials and Their Applications)
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概要
著者
-
前中 一介
姫路工業大学
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Fujita Takayuki
Department Of Electrical Engineering And Computer Sciences Graduate School Of Engineering University
-
Inoue Junichi
Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Engineering Kumamoto Institute Of Technology
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Maenaka Kazusuke
Department Of Electrical Engineering And Computer Sciences Graduate School Of Engineering University
-
Higuchi Kohei
Maenaka Human-sensing Fusion Project Erato Japan Science And Technology Agency
-
MAENAKA Kazusuke
ERATO Maenaka Sensing Fusion Project, Japan Science and Technology Agency
-
前中 一介
兵庫県立大
-
Kanda Kensuke
Department of Engineering, University of Hyogo, Himeji, Hyogo 617-2280, Japan
-
Saito Takashi
Maenaka Human-Sensing Fusion Project, Japan Science and Technology Agency, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan
-
Inoue Junichi
Department of Electronics, Kyoto Institute of Technology
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