<論説>神戸高専デバイス工学実験室の現状
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概要
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This report introduces the activity of education and research in our clean room. With the move of our college at 1990,various apparatuses for the fabrication of the bipolar-and nMOS-IC have been introduced in the clean room. At first, we installed electric furnaces, a mask aligner, a vacuum evaporator, a wire bonding machine, etc. Next, the fabrication processes of the integrated circuit including the bipolar and nMOS technology were established. Moreover, a mask fabrication system was build up. Now, we have two courses of the technical education for 4th and 5th grades and the special resarch course for 5th grade for the process technology of integrated ciruits. The report shows the outline of such courses.
- 神戸市立工業高等専門学校の論文
- 1993-02-28
著者
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