シリコンマイクロジャイロスコープの構造と特性 : 姫工大でのデバイスを中心に
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概要
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本稿では、シリコンマイクロマシニングを用いたジャイロスコープ(角速度センサ)について、姫路工業大学での成果を中心に述べる。今日、マイクロジャイロは、家電製品、乗用車、玩具などの民生品からも要求されるようになってきた。このような分野では、デバイスは小型軽量、低価格で安定に大量供給できなければならない。これらの要求に応えることができるシリコンマイクロジャイロは現在最も注目を浴びているデバイスのひとつである。本稿ではマイクロマシニングの簡単な説明とシリコンジャイロの適応性について簡単に述べ、マイクロジャイロの動作原理、我々の研究室で試作された初期のデバイス、最新のデバイスについてその構造と作製プロセス、特性について示す。
- 1999-11-19
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