ニッケルメッキ膜によるマイクロジャイロスコープ
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概要
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近年、マイクロマシニング技術を用いたジャイロスコープ(角速度センサ)が注目を集めている。しかしながら、これまでに提案されているデバイスは、すべて単一の軸に対する角速度検出のみが可能な構造であった。本報告では新たな構造として、直交した2軸に対する角速度検出が可能なデバイスを提案し、その試作、評価を行った結果について述べる。
- 1997-08-13
著者
-
前中 一介
姫路工業大学
-
藤田 孝之
姫路工業大学
-
前中 一介
兵庫県大
-
前田 宗雄
姫路工大
-
前田 宗雄
姫路工業大学
-
ケニー リチャード
姫路工業大学 工学部
-
ケニー リチャード
姫路工業大学工学部
-
前川 宗雄
姫路工業大学
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