シリコンマイクロジャイロスコープの構造と特性--姫工大でのデバイスを中心に

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1999-11-19

著者

• 前中 一介

  姫路工業大学

• 前中 一介

  兵庫県大

関連論文

• 時分割方式により実現した単一参照駆動用コイルを有するマイクロ振動型ジャイロの駆動・検出システム
• 多層集積化MEMSのためのハイブリッドウエハに関する研究
• 集積化縦形磁気トランジスタの特性
• 大阪府先導的研究 : 「スーパーアイ・イメージセンサ研究開発」について
• 片持ち梁型AEセンサの作製とその特性
• CS-3-6 Si MOSFET電力増幅器相互変調ひずみのゲート回路低周波・高調波インピーダンス依存性(CS-3.マイクロ波トランジスタ高出力増幅器の現状と今後の展開,シンポジウム)
• CS-3-5 マイクロ波Si MOSFET電力増幅器の並列合成による相互変調ひずみ改善(CS-3.マイクロ波トランジスタ高出力増幅器の現状と今後の展開,シンポジウム)
• マイクロ波電力増幅器の相互変調ひずみ非対称性と高調波短絡による改善
• マイクロ波電力増幅器の高調波短絡による相互変調ひずみの改善(回路・デバイス,マイクロ波論文(大学発))
• C-2-11 Si MOSFETマイクロ波電力増幅器相互変調ひずみ非対称性の検討(C-2.マイクロ波A(マイクロ波・ミリ波能動デバイス),一般講演)
• C-2-14 2次高調波短絡によるマイクロ波電力増幅器の3次相互変調ひずみ低減(C-2.マイクロ波A(マイクロ波・ミリ波能動デバイス),一般講演)
• 高調波制御によるマイクロ波電力増幅器の3次相互変調ひずみ低減
• マイクロ波FET電流モデルの非線形性精度の検討
• モノリシック3軸MEMSジャイロ
• DMD露光機の多重露光モードによるコンデンサマイクロホンの試作
• MICSによる高速OpAmpライブラリの設計とその応用
• 高ダイナミックレンジを実現する集積化磁気センサに関する検討
• 圧電薄膜要素の多段直列接続によるセンサ出力電圧の増倍
• 高アスペクト比シリコンナノニードルの作製
• DMD露光機における多重露光を利用した静電容量型加速度センサの試作
• PZT薄膜を用いた振動型加速度センサに関する基礎研究
• PZT誘電ボロメータ型温度センサ
• 機械振動・共振を利用したセンサ技術
• MEMSガスジャイロ用ホットワイヤと流路形状に関する研究
• 半導体レーザを光源とするリングレーザジャイロの試作と周回レーザ発振
• PZT圧電薄膜を用いたMEMSジャイロに関する研究
• 振動型3軸MEMSジャイロの設計と試作
• BS-14-2 ユビキタス・センサネットワークのための人体活動モニタリングシステムとその小型化(BS-14.ユビキタス・センサーネットワーク技術〜モノによるユビキタス環境を目指して〜,シンポジウムセッション)
• 425 振動型加速度センサの薄膜梁評価(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• DMD露光機を用いた感光樹脂製圧力センサの試作と評価
• MEMSセンサを用いた宅配便輸送環境モニタシステム
• マルチ環境センシングシステムを指向した加速度センサと周辺回路に関する研究
• CS-5-1 DMD露光機を用いた集積回路チップ上へのMEMSデバイス作製に関する研究(CS-5.異種材料融合デバイス技術,シンポジウム)
• 大変位MEMSミラーとPSDを用いた制御機構に関する研究
• MEMSジャイロ・加速度センサとその応用
• 入力電力不等分配Si MOSFETドハティ電力増幅器
• 埋め込みグリッド電極を用いたエレクトレット荷電法
• 高分子膜を構造体としたマイクロミラー
• 高分子膜によるマイクロ可動光学ミラー
• MEMS材料としてのNi-W合金メッキ膜
• 薄膜Ni-W合金の諸特性について
• Ni-Wメッキ膜のマイクロマシン材料としてのバネ特性評価
• 人の安全と健康を支援するMEMSセンシング融合
• ユビキタス・センシング技術 : MEMSセンサとその応用(ユビキタス・センサネットワークによる空間のスマート化,ユビキタス・センサネットワークを支える理論,一般)
• 6 慣性センサ(マイクロマシンの現状と動向)
• ハードスプリング効果を用いた振動型ジャイロ駆動法の提案
• シリコンマイクロジャイロスコープの構造と特性 : 姫工大でのデバイスを中心に
• 回転振動形ジャイロスコープに関する基礎研究
• シリコンマイクロジャイロスコープの構造と特性--姫工大でのデバイスを中心に
• バルクマイクロマシニングを用いた2軸ジャイロスコープ
• マルチチップサービスによるマイクロジャイロインターフェイス集積回路の設計と試作
• 振動形マイクロジャイロの設計指針
• 薄板構造型2軸検出ジャイロスコープ
• ニッケルメッキ膜によるマイクロジャイロスコープ
• フィードバック制御による圧電バイモルフの共振周波数制御
• メンプレン型バネ構造を持つ振動ジャイロのパネ設計に関する一考察
• SOIメンブレンを用いた振動型ジャイロ構造
• D-14-9 赤外線を用いた声道形状識別システムの提案
• A-1-17 数値解析手法に基づく高周波増幅器の相互変調歪み導出法
• SC-4-1 マイクロジャイロのためのSOIメンブレン形状に関する検討
• 非線形特性を考慮した増幅器の解析法の提案
• マイクロマシニングによる光学スキャナの基礎特性に関する検討
• SOIメンブレンによるマイクロジャイロに関する検討
• 加速度センサを用いた角速度検出に関する一検討
• 数値解析手法に基づく高周波用増幅器の効率計算
• マルチチップサービス初回ランで試作したアナログICの報告
• ドレイン接地によるデュアルバンドGaAs FET発振器
• C-2-22 ソース接地およびドレイン接地スイッチングによるデュアルバンドGaAs FET発振器(C-2. マイクロ波A(能動デバイス), エレクトロニクス1)
• ニューラルネットワークによる演算を用いた位置および動き検出システム
• A-34 ニューラルネットワークに適したデータ変換方法に関する研究(A-2. 非線形問題,一般講演)
• MEMSセンサ MEMS技術の動向と応用
• 集積化シリコン磁気ベクトルセンサ(技術談話室)
• MEMS加速度センサの開発
• 大学でのMEMS試作開発 (特集 MEMS(微小電気機械システム)の開発・最前線)
• 性能向上、民生技術として普及しだした慣性センサの新展開 (特集 21世紀を征する温故知新テクノロジー 最新センサ探検隊) -- (「変位に挑む」編)
• 振動型MEMS加速度センサの高Q値振動梁形状の設計と試作
• リングレーザジャイロを指向したSi(111)面可動ミラーの試作
• 片持梁構造シリコンジャイロ--動作原理・構造と評価結果
• 厚膜レジストによるLIGAライクプロセスの検討
• 神戸高専デバイス工学実験室の現状
• 集積化3次元磁気センサ
• 縦形磁気トランジスタを用いた集積化磁気センサ
• シリコン鏡面を利用したMEMSリングレーザジャイロ--光を使ったMEMS角速度センサの実用化に向けて (胎動するサービスロボット市場を探る!) -- (RT技術講座 注目要素技術を探る)
• 集積化センサのあゆみとMEMS技術 (第24回センシングフォーラム資料--センシング技術の新たな展開と融合) -- (ネットワークセンシングシステムとMEMS--ネットワークセンシングシステム部会企画OS)
• マイクロミラー設計に向けた厚膜フォトレジストSU-8の粘弾性特性評価
• SU-8バネによる大変位マイクロ2軸ミラー
• C-10-7 UV感光性樹脂をバネとした2軸光学ミラーの提案と試作(C-10.電子デバイス)
• C-5-7 RF-MEMSを指向した曲形状大変位スイッチ(C-5.機構デバイス)
• シリコン上への金の選択めっきとその応用
• プリント基板用のCADを用いた集積回路の設計
• 異方性エッチャント (TMAH) の劣化によるエッチングレートの変化
• 磁界の無指向性計測を可能にするモノリシック集積化磁気センサ (センサとLSIの知的集積化論文特集) -- (集積化センサ)
• 集積化磁気センサ
• 三次元集積化磁気センサ技術(最近のセンサ技術)
• 集中定数トライバンドGaAs FET電力増幅器
• C-2-8 集中定数トライバンドGaAs FET電力増幅器(C-2. マイクロ波A(能動デバイス), エレクトロニクス1)
• マイクロ波2周波数整合形デュアルバンド電力増幅器
• C-2-1 マイクロ波集中定数2周波整合GaAsFETデュアルバンド電力増幅器(C-2. マイクロ波A(能動デバイス), エレクトロニクス1)
• マイクロ波集中定数化2周波整合GaSaFET電力増幅器
• C-2-39 デュアルバンド電力SiMOSFET増幅器の設計試作(C-2.マイクロ波A(能動デバイス))

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク