招待講演 3次元積層を可能にするPoly-Siトランジスタ駆動の相変化メモリ (シリコン材料・デバイス)

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概要

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• 2011-11-10

著者

• 峯邑 浩行

  (株)日立製作所中央研究所

• 笹子 佳孝

  日立製作所中央研究所

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