酸化物半導体の薄膜トランジスタへの応用 (特集 高品質エピタキシャル薄膜の作製・デバイス化)
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概要
著者
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太田 裕道
名古屋大学大学院工学研究科 化学・生物工学専攻
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太田 裕道
名古屋大学工学研究科
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太田 裕道
名古屋大学大学院工学研究科:科学技術振興機構crest:科学技術振興機構erato-sorst
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太田 裕道
名古屋大学大学院工学研究科
-
Katase Takayoshi
Aterials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
神谷 利夫
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
野村 研二
東京工業大学フロンティア研究機構
-
太田 裕道
名古屋大学 大学院工学研究科
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