固体物理の応用 アモルファス酸化物半導体の物性とデバイス開発の現状
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概要
著者
-
細野 秀雄
東工大
-
Katase Takayoshi
Aterials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
神谷 利夫
Materials And Structures Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
野村 研二
東京工業大学フロンティア研究機構
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