Annealing-Induced Modification of Superhard Conductive Carbon Film
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
著者
-
土谷 茂樹
和歌山大学
-
Hirono Shigeru
Ntt Afty Corporation
-
金子 礼三
Wakayama University Department Of Opto-mechatronics Faculty Of Systems Engineering
関連論文
- フォトリソグラフィー技術を用いた固体高分子電解質膜へのパターン電極形成
- 1219 リモートコントロールサポートシステムの開発 : 光学式傾斜角検出センサを用いた姿勢安定システムの構築(GS-15 ロボットの視覚制御)
- 203 イオン液体を溶媒とするイオン導電性高分子アクチュエータの動作特性 : イオン液体の種類による動作特性への影響(GS-15・16 アクチュエータ技術)
- マイクロ光造形法で作製した微小構造物の内部構造と縦弾性係数
- 1419 高分子アクチュエータを用いたDrug・Delivery・System(DDS)の開発 : 薬剤放出用マイクロポンプの開発(GS-15・16 アクチュエータ)
- 1421 イオン導電性高分子ゲルアクチュエータを用いた可変焦点レンズの開発(GS-15・16 アクチュエータ)
- 1416 IPMCを利用した無線マイクロロボットの開発(GS-15・16 ロボットシステム)
- 1212 タッピング・モードAFMを用いたPFPE潤滑膜の湿度依存性評価(GS-11・16 潤滑)
- マイクロ光造形法で作製した構造物の機械的特性評価
- 和歌山大学 システム工学部 光メカトロニクス学科マイクロ工学研究室
- 1504 イオン導電性高分子ゲルアクチュエータへのパターン電極の接合(GS-16 精密機器(1))
- 1307 溝付きディスクファンの空力特性の研究(GS-5 翼)
- 導電性探針を用いた原子間力顕微鏡による原子スケール摩耗の評価
- 研究室内部でのメカトロニクス教育 マイクロ工学研究グループでの事例
- 静電型フリクションセンサの開発
- マイクロ光造形法で作製した3次元微小構造のヤング率の測定(第三報) (日本実験力学会2004年度年次講演会) -- (材料と実験力学(2))
- 3231 マイクロ光造形法を用いた三次元微小構造物の作製
- 3230 マイクロ光造形法で作製した三次元微小構造物のヤング率測定
- 3229 マイクロ光造形法を用いた静電アクチュエータ
- マイクロ光造形法で作製した3次元微小構造物のヤング率の測定
- マイクロ光造形法を用いた三次元微小構造物の作製
- マイクロ光造形法で作製した微小構造物の機械的特性評価
- 半導体静電アクチュエータの動作に及ぼす不純物濃度の影響に関する理論的検討
- 走査形プローブ顕微鏡応用超高密度メモリ
- イメージインテンシファイアを用いたマイクロカンチレバーの挙動の観察
- キャビティー長可変ファブリ・ペロー干渉計を用いたカラー表示装置の表示特性に関する検討
- イオン導電性高分子アクチュエータを用いた可変焦点レンズの開発 (第14回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)
- ポリピロールアクチュエータの空気中動作 (第14回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)
- A Field-Effect Transistor with a Deposited Graphite Thin Film
- 912 イオン導電性高分子アクチュエータのマイクロ化に関する研究(GS-16 MEMS(1))
- 黎明期の通信用ファイル : NTTでの研究
- 黎明期の通信用ファイル : NTTでの研究(磁気記録研究会設立40周年記念大会)
- 微小構造物のレーザー走査マニピュレーションによる保持
- 顕微鏡を用いた光造形法による微小立体構造物の作製
- 913 高分子アクチュエータを用いた能動マイクロカテーテルの開発(GS-16 MEMS(1))
- Charge Storage on Thin SrTiO_3 Film by Contact Electrification ( FERROELECTRIC MATERIALS AND THEIR APPLICATIONS)
- Annealing-Induced Modification of Superhard Conductive Carbon Film
- Annealing-Induced Modification of Superhard Conductive Carbon Film
- Nanometer-Scale Recording on a Superhard and Conductive Carbon Film Using an Atomic Force Microscope
- Electrical and Tribological Characteristics of Metal-Doped Carbon Thin Films(Materials,Recent Development of Electromechanical Devices (Selected Papers from ICEC2006))
- Electric Surface Modification of Diamond Like Carbon Film
- Wear Durability and Adhesion Evaluation Methods for Ultrathin Overcoat Films by Atomic Force Microscopy
- Theoretical Analysis of Cantilever Motion under Electrostatic Force
- 202 イオン液体を溶媒とする高分子アクチュエータの動作特性 : 湿度変化の動作特性への影響(GS-15・16 アクチュエータ技術)
- MEMSにおける張り付きとその対策(MEMSの信頼性)
- Annealing-Induced Modification of Superhard Conductive Carbon Film
- 201 イオン導電性高分子金属接合体を用いた可変焦点レンズの開発(GS-15・16 アクチュエータ技術)
- Electrical Behavior of Germanium Oxide/Germanium Interface Prepared by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Oxidation in Capacitance and Conductance Measurements
- 2P1-M04 マイクロ光造形法を用いたマイクログリッパの開発
- 1P1-C15 磁場を用いた液中移動マイクロロボットの開発
- 508 マイクロ光造形法で作製した微小カンチレバーの縦弾性係数制御(OS9-1 粘弾性・疲労・マイクロ,OS9 実験力学における新たな試み)
- 1P1-B03 IPMCを用いたマイクロロボットの駆動および外部磁場によるエネルギ供給に関する研究
- 2A1-A15 IPMCを用いたマイクロロボットの駆動及び外部磁場によるエネルギ供給に関する研究(水中ロボット・メカトロニクス)
- 615 MEMS技術を用いたイオン導電性高分子アクチュエータのマイクロ化に関する研究(GS-10 MEMS)
- 1005 イオン液体を用いた自発運動機構に関する研究(GS-5 レオロジー・機能性流体)
- 617 Flemion膜を用いた高発生力IPMCの作製(GS-10 MEMS)
- 1006 IPMCを用いたマイクロロボットの駆動および外部磁場によるエネルギ供給に関する研究(ロボティクス・メカトロニクスIV)
- 911 マイクロ光造形法を用いたマイクログリッパの開発(ロボティクス・メカトロニクスII)
- 和歌山大学システム工学部光メカトロニクス学科マイクロ工学研究室
- IWM2002報告
- MEMSにおけるスティクションのメカニズムとその対策
- Nanometer-Scale Recording on a Superhard and Conductive Carbon Film Using an Atomic Force Microscope
- Field-Effect Transistor with Deposited Graphite Thin Film