3230 マイクロ光造形法で作製した三次元微小構造物のヤング率測定
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概要
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Micro-stereolithography (MSL) is one of micro maching methods and it can create real 3D shape micro structures. It is important to know mechanical properties of micro structures made by MSL. In this study, a new measurement equipment was developed and Young's modules of micro cantilevers made by MSL were measured. As the results, Young's module of micro cantilevers which irradiation laser power were 10.30 μW is higher than that which irradiation laser power were 8.86 μW. Moreover, Young's module of another cantilever made by irradiation of ultraviolet light is higher than that made by MSL. The difference of these cantilever's Young's module is likely caused by polymerization degree and inside fabric of cantilever.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
著者
-
土谷 茂樹
和歌山大学
-
三輪 昌史
徳島大学
-
土谷 茂樹
和大
-
堂岡 和親
和歌山大学システム工学部
-
堂岡 和親
和大院
-
三輪 昌史
和大
-
金子 礼三
和大
-
金子 礼三
Wakayama University Department Of Opto-mechatronics Faculty Of Systems Engineering
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