MEMSにおける張り付きとその対策(MEMSの信頼性)
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概要
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微小電気機械システム(Micro electro mechanical system : MEMS)技術は社会を大きく変革する可能性を有する次世代技術として注目される.MEMSでは微小化や機械的接合部の減少により耐振動性, 耐衝撃性などの信頼性が向上する反面, 可動部が対向部に固着する「張り付き」など微小領域で顕在化する新たな現象による動作不良が生じる場合がある.張り付きは主として製造時に用いる洗浄液や大気中の水蒸気の毛管凝縮による微小隙間への液体橋の形成に基づく液架橋力(メニスカス力)により発生する.製造プロセスの改良, 表面の疎水性化, 接触面積の低減により張り付きを防止することができる.また, 素子の自己診断・較正機能の付与により, 信頼性がさらに向上する.
- 日本信頼性学会の論文
- 2005-04-01
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