Development of an X-Band Filter Using Air-Gap-Type Film Bulk Acoustic Resonators
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概要
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We have developed an X-band filter utilizing air-gap-type film bulk acoustic resonators (FBARs). The air-gap structure is simple and cost-effective. Results from both simulations and experiments demonstrate that a dome-shaped air gap was formed between the substrate surface and the bottom electrode and that an air-gap-type FBAR structure was possible. The air gap can be formed on the flat substrate using stress control of piezoelectric and metal films without using a thick sacrificial layer. As a result, the fabricated X-band FBAR operated successfully with a $k_{\text{eff}}{}^{2}$ of 6.30%, a resonance $Q$ of 246, and an antiresonance $Q$ of 462. The fabricated filter had a center frequency of 9.07 GHz, a fractional bandwidth of 3.1% and a minimum insertion loss of 1.7 dB.
- 2008-05-25
著者
-
Hashimoto Ken-ya
Graduate School Of Engineering Chiba University
-
Satoh Yoshio
Fujitsu Laboratories Ltd.
-
UEDA Masanori
FUJITSU LABORATORIES LIMITED, Peripheral System Laboratories
-
NISHIHARA Tokihiro
FUJITSU LABORATORIES LIMITED, Peripheral System Laboratories
-
Hara Motoaki
Fujitsu Limited, 64 Ohkubo, Akashi, Hyogo 674-8555, Japan
-
Taniguchi Shinji
Fujitsu Laboratories Ltd., Akashi, Hyogo 674-8555, Japan
-
YOKOYAMA Tsuyoshi
FUJITSU LABORATORIES LIMITED, Peripheral System Laboratories
-
SATOH Yoshio
FUJITSU LABORATORIES LIMITED, Peripheral System Laboratories
-
Satoh Yoshio
Fujitsu Limited, Akashi, Hyogo 674-8555, Japan
-
Hara Motoaki
Fujitsu Limited, Akashi, Hyogo 674-8555, Japan
-
Ueda Masanori
Fujitsu Limited, Akashi, Hyogo 674-8555, Japan
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