Tunable Surface Acoustic Wave Filter Using Integrated Micro-Electro-Mechanical-System Based Varactors Made of Electroplated Gold (Special Issue : Ultrasonic Electronics) -- (Piezoelectric devices (bulk wave devices, surface wave devices))
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概要
著者
-
Hashimoto Ken-ya
Graduate School Of Engineering Chiba University
-
Esashi Masayoshi
Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Tanaka Shuji
Graduate School Of Eng. Tohoku University
-
Konno Akira
Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan
-
Inaba Masahiro
Graduate School of Engineering, Chiba University, Chiba 263-8522, Japan
-
Hirano Hideki
Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan
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