超微粒子沈着CVDによるAlN膜の高速成膜
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
AlCl<SUB>3</SUB>-NH<SUB>3</SUB>-He系において等温管型反応器を用いて超微粒子沈着CVD によりAlN 膜を合成した.<BR>作成した膜は, 多結晶AINであり (002) 面に強く配向していた.成膜速度は, 最大で1.3mm/hと従来のCVDによるAlN膜の成膜速度より2桁速い成膜速度を達成した.<BR>成膜速度分布に対する反応温度, 反応管径, 原料ガスの予混合の影響を調べた.成膜機構としては, 気相における反応中間体の生成, 基板への拡散という逐次過程によるモデルを提出し, 反応中間体のサイズを推算したところ, 0.7nmという値を得た.
著者
関連論文
- 燃料リサイクル型固体電解質燃料電池の発電効率
- 太陽光発電システムのCO_2排出原単位に関する考察
- 太陽光発電システムの導入によるCO_排出削減効果
- DSMC法を用いたCVDステップカバレッジシミュレーションの高速化
- 新科学技術のパラダイムを求めて
- 環礁地帯における環境改善によるCO2固定促進の研究
- TiCl_4/NH_3を原料としたTiN薄膜CVD合成の反応機構
- WSi_x-CVDプロセスの反応機構 : WF_6/SiH_4,WF_6/Si_2H_6反応系の比較
- WF_6/Si_2H_6によるWSi_xブランケットCVDのモデリングとシミュレーション
- 超微粒子沈着CVDによるTiO_2膜の高速成膜(2. 気相反応法)(新技術によるセラミックスの合成と評価(I))
- 産業連関表を用いた太陽光発電システムのエネルギ-ペイバックタイムの見積り
- DOMEの化学工学研究での活用
- 炭化水素を燃料とする固体電解質型燃料電池の開発I.ニッケル/イットリア安定化ジルコニアサーメット上でのメタンの反応
- Computer Aided Reaction Designを用いたCVDにおける問題解決へのアプローチ
- オーストラリアにおける大規模緑化と降水量増大効果
- 知識の構造化そして議論の風土へ
- 常圧熱CVDによるAlN膜合成における配向性の制御
- Micro-Trench法によるAPCVDにおける表面反応速度定数の測定
- NiZrアモルファス合金の表面状態とガス吸着
- TiO2微粒子の気相合成 : 粒子生成機構と反応速度論
- 海洋における定常状態での炭素の物質収支 : Two Box Modelによる推算
- 海洋における定常状態での炭素の物質収支 : Box Diffusion Modelによる推算
- ナノテクノロジーにおける知識の構造化と知識基盤 - 創発を促す環境づくり -
- 熱フィラメント法によるダイヤモンド合成の気相過程
- CO2分離プロセスのエネルギー効率から見た比較研究
- LPCVDの全圧による粉体・膜合成の制御 : SiH4とC6H6によるSiCの合成
- 超微粒子沈着CVDによるAlN膜の高速成膜
- クラフトパルプ化の速度論的研究
- CVDの機構と分離用無機膜合成への応用
- Particle Production by Chemical Vapor Deposition