気相反応法による炭化ケイ素超微粉体の合成へのプラズマジェットの利用
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概要
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Highly crystalline and ultrafine SiC powders with particle sizes of -0.02 μ were obtained with a high yield by the vapor phase reaction of CH<SUB>3</SUB>SiCl<SUB>3</SUB>-H<SUB>2</SUB> system in a simple plasma jet reactor. The formation of SiC powders from CH<SUB>3</SUB>SiCl<SUB>3</SUB>-N<SUB>2</SUB> system was difficult by the same method.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
-
加藤 昭夫
九州大学工学部応用物質化学科
-
北條 純一
九州大学工学部応用化学科
-
加藤 昭夫
熊本工大 工
-
岡部 安三
九大工
-
岡部 安三
九州大学工学部応用化学科
-
加藤 昭夫
九州大学工学部
-
北條 純一
九州大学工学部
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