SiH4-CH4-H2系気相反応による炭化ケイ素粉体の合成

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概要

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• 日本化学会の論文

著者

• 北條 純一

  黒崎播磨株式会社

• 加藤 昭夫

  熊本工大 工

• 岡部 安三

  九大工

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