ZrCl_4-NH_3-H_2-N_2 系気相反応による窒化ジルコニウム粉体の合成
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概要
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ZrCl4-NH3-H2-N2系気相反応による窒化ジルコニウム粉体の合成反応を1000℃-1500℃で行った. また, ZrCl4-NH3系低温付加物の熱分解反応についても調べた.1) ZrCl4-NH3-H2-N2系気相反応により, 窒化ジルコニウムと反応中間化合物の混在した微粉体が生成した. 窒化ジルコニウム粉体の粒径は0.05μm以下であった. 窒化ジルコニウム生成率は, ZrCl4とNH3の混合温度および反応温度の上昇により増大した. 生成率は最大で80%であった. 窒化ジルコニウム粒子の生成に対し, 2つの過程を提出した. 一つはZrCl4-NH3系の付加物粒子の生成とその熱分解であり, 他は窒化ジルコニウム核の生成とその成長である. ZrCl4とNH3の混合温度が, 1000℃以下では生成過程は主として前者であり, 1100℃以上では第2の生成過程が支配的となる.2) ZrCl4-NH3系低温付加物は, NH3-H2混合ガス気流中750℃以上で窒化ジルコニウムへ分解した. 生成窒化物の原子比N/Zrは900℃で1.13, 1200℃で1.04であった.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1977-04-01
著者
-
北條 純一
黒崎播磨株式会社
-
加藤 昭夫
九州大学工学部応用物質化学科
-
北條 純一
九州大学工学部応用化学科
-
加藤 昭夫
熊本工大 工
-
岡部 安三
九大工
-
岡部 安三
九州大学工学部応用化学科
-
加藤 昭夫
九州大学工学部
-
北條 純一
九州大学工学部
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