炭酸ガスレーザーによるSiC超微粒子の合成
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概要
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Preparation of SiC ultrafine particles from SiH_2Cl_2- C_2H_4 mixtures by using CO_2 laser was investigated. Powders with specific surface areas of 8 to 150 m^2/g, were obtained by irradiating CO_2 laser beam to SiH_2Cl_2 - C_2H_4 gas mixture at atmospheric pressure. The power density of laser beam was 3.66 kW/cm^2 and wave length was 10.6 μm. XRD of the products showed that Si, β-SiC and free carbon were produced and that the composition of powders depended on the C_2H_4/SiH_2Cl_2 ratio. Reaction temperature changed with the power density of laser beam and C_2H_4/SiH_2Cl_2 ratio. Hysteresis was observed between reaction temperature and power density of laser beam.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1989-09-01
著者
-
加藤 昭夫
九州大学工学部応用物質化学科
-
奥谷 猛
北海道工業技術研究所
-
中田 善徳
北海道工業開発試験所
-
鈴木 正昭
北海道工業開発試験所
-
鈴木 正昭
北工研
-
中田 善徳
産総研
-
加藤 昭夫
熊本工大 工
-
加藤 昭夫
九州大学工学部
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