四塩化珪素とアンモニアとの気相反応による窒化珪素微粒子の生成
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1972-03-01
著者
-
加藤 昭夫
九州大学工学部応用物質化学科
-
持田 勲
九州大学工学部
-
川添 早苗
三菱重工長崎技術研究所
-
小野 吉弘
九州大学工学部応用化学科
-
川添 早苗
三菱重工業(株)長崎技術研究所
-
加藤 昭夫
九州大学工学部
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