反応性蒸着法による超伝導酸化物単結晶薄膜の作製、構造、物性
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概要
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By means of the activated reactive evaporation, single crystal thin films of YBa<SUB>2</SUB>Cu<SUB>3</SUB>O<SUB>7-x</SUB> with their (001) and (110) planes parallel to the corresponding surfaces of SrTiO<SUB>3</SUB> have been obtained successfully. The substrate temperature was kept at 500650°C and a subsequent in-situ oxidation treatment was performed below the growth temperature. An ac-resistive measurement for a (001) film 1000A thick gave a sharp superconducting transition with an end point of 90.2K and ΔT<SUB>c</SUB>(10-90%)=1.7K. The highest J<SUB>c</SUB> of 4×10<SUP>6</SUP> A/cm<SUP>2</SUP> at 77K was achieved for the thickness. From a complex susceptibility measurement we confirmed the Meissner effect as well as the structural uniformity of the films prepared. For the films grown on SrTiO<SUB>3</SUB>(110), the RHEED patterns have shown that the films have the (110) or (103) orientation depending on the substrate temperature.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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