J111032 摩擦によるナノストライプ表面の溝形成条件の検討([J11103]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
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概要
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We developed a nano-patterning method for "nanostripes" that incorporates deposition of a multilayer film on a microscale slope array and mechanical polishing. This method is used to fabricate a nanostripe structure consisting of two kinds of materials to form a stripe array on a silicon substrate. We applied the nanostripes of Au-Fe and Ru-Cu to friction tests to examine the possibility of renewability during the friction. Nano grooves once disappeared by sliding with PAO (poly-a-olefin) but re-emerged during friction with PAO+2%Acid Phosphate Ester.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-11
著者
-
是永 敦
産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門
-
安藤 泰久
産業技術総合研 機械システム研究部門
-
安藤 泰久
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門:筑波大学大学院システム情報工学研究科(連携大学院)
-
三宅 晃司
産業技術総合研
-
安藤 泰久
東京農工大学
-
中野 美紀
産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
是永 敦
産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
-
三宅 晃司
産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
-
中野 美紀
産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
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