(1)櫛歯型アクチュエータで駆動される3次元マイクロステージの開発 : 原子間力顕微鏡を用いた基本性能の評価(論文,日本機械学会賞〔2008年度(平成20年度)審査経過報告〕)
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概要
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- 2009-05-05
著者
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安藤 泰久
産総研
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安藤 泰久
産業技術総合研究所
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安藤 泰久
(独)産業技術総合研究所
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安藤 泰久
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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安藤 泰久
産業技術総合研究所 トライボロジー研究グループ
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安藤 泰久
産業技術総合研 機械システム研究部門
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安藤 泰久
(独)産業技術総合研究所 機械システム研究部門
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安藤 泰久
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門:筑波大学大学院システム情報工学研究科(連携大学院)
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安藤 泰久
天理よろづ相談所病院腹部一般外科
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