(15)トンネル電流を利用したマイクロ水平力センサの開発(論文,日本機械学会賞〔2006年度(平成18年度)審査経過報告〕)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-05-05
著者
-
安藤 泰久
産業技術総合研究所
-
安藤 泰久
(独)産業技術総合研究所
-
安藤 泰久
産業技術総合研究所 トライボロジー研究グループ
-
白石 直規
オリンパス(株)
-
安藤 泰久
産業技術総合研 機械システム研究部門
-
安藤 泰久
(独)産業技術総合研究所 機械システム研究部門
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