3次元マイクロステージによる摩擦力測定(OS8-2 マイクロ機構とトライボロジー(II))
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We have designed and fabricated three-dimensional (3D) stages driven by electrostatic comb actuators. The stage consists of traveling tables, suspensions and comb actuator(s). The key to realizing 3D motions is in the geometry of the suspensions, which incorporate a pair of leaf springs inclined to the substrate. First, the motions of the stage were analyzed by FEM (finite element method). Then 3D electrostatic stages were fabricated on an SOI (silicon on insulator) wafer. Finally, after examining the relation between the vertical and lateral displacements and driving voltage, surface topography was observed by using an AFM that was equipped with the 3D electrostatic stages as the scanner.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-04-16
著者
関連論文
- 3238 ナノからマクロスケールにおける物理吸着したフタロシアニン自己組織化膜の摩擦特性(S36-3 トライボロジーの基礎と応用(3),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 周期的突起を有する表面間に作用する凝着力の測定(OS8-2 マイクロ機構とトライボロジー(II))
- ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- T1101-3-6 SRV試験機によるナノパターン表面の潤滑特性評価(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
- 周期的な凹凸を有するタングステン表面の摩擦力と凝着力
- マイクロスケール摩擦と表面間力
- マイクロマシンとトライボロジー
- T1101-3-5 ランダム構造を用いたナノパターンの創製と摩擦特性(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
- T1101-3-4 摩擦におけるナノパターンの効果(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
- T1101-3-3 多層膜を利用したナノパターン法とその応用(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
- 403 Si表面における微小形状の摩擦特性への影響(T03-1 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- (15)トンネル電流を利用したマイクロ水平力センサの開発(論文,日本機械学会賞〔2006年度(平成18年度)審査経過報告〕)
- トンネル電流を利用したマイクロ水平力センサの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- マイクロデバイスを用いた摩擦力測定(S51-4 トライボロジーの基礎と応用(IV),S51 トライボロジーの基礎と応用)
- 3次元マイクロステージによる摩擦力測定(OS8-2 マイクロ機構とトライボロジー(II))
- 液晶潤滑ジャーナル軸受の静特性に及ぼす電極配置の影響
- 液晶潤滑ジャーナル軸受の静特性
- 液晶ジャーナル軸受の静特性制御(S51-2 トライボロジーの基礎と応用(II),S51 トライボロジーの基礎と応用)
- 1115 マイクロ接触面積に対する引き離し力の定量化(マイクロトライボロジー,一般講演)
- 1309 窓ガラス表面の埃の除去に関する研究(OS7-2 マイクロメカトロニクス(2))
- 圧電素子アクチュエータを用いる小グリッパの力制御
- 正から負の垂直荷重での摩擦力の測定-接触状態の違いが凝着力に与える影響-
- 微小接触面の摩擦と凝着力--凝着力が摩擦力に及ぼす影響
- 凝着摩耗における雰囲気酸素の移着成長促進効果
- 産業技術総合研究所 トライボロジー研究Gr.
- 21世紀を担うトライボロジー技術
- 原子間力顕微鏡を用いた微小摩耗試験-接触面積と引き離し力の関係-
- 微小な摩擦力の計測技術
- 1996 ASME/STLE国際トライボロジー会議参加報告
- 異種金属間の摩擦係数を支配する因子の実験的検討
- 「楽しく学ぶトライボロジー」特集号発刊によせて
- 摩耗の凝着説は正しい科学的記述か
- 櫛歯型アクチュエータで駆動される3次元マイクロステージの開発 : 原子間力顕微鏡を用いた基本性能の評価(機械力学,計測,自動制御)
- 16・5 エネルギービーム加工分野(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- (1)櫛歯型アクチュエータで駆動される3次元マイクロステージの開発 : 原子間力顕微鏡を用いた基本性能の評価(論文,日本機械学会賞〔2008年度(平成20年度)審査経過報告〕)
- 411 集束イオンビーム加工によるナノパターンの創製とその応用(T03-3 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(3),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1116 接触部形状と液架橋力の関係(マイクロトライボロジー,一般講演)
- 3024 アルコールのポリマー化を利用した表面処理とバイオへの応用(J21 マイクロナノ理工学,J21 マイクロナノ理工学)
- 有機分子自己組織化膜のナノトライボロジーへの展開(ナノテクノロジーとの融合によるトライボロジーの新展開,F16 機素潤滑設計部門企画)
- 20511 液晶を潤滑剤とした流体潤滑特性の制御に関する研究(トライボロジーと機械要素(1),OS.11 トライボロジーと機械要素)
- DLCの濡れ性制御による摩擦特性の変化(S51-3 トライボロジーの基礎と応用(III),S51 トライボロジーの基礎と応用)
- 一点繰り返し荷重と転がり疲れによるアコースティックエミッションの計測(S51-1 トライボロジーの基礎と応用(I),S51 トライボロジーの基礎と応用)
- 2449 摩擦力分布のメゾスケールマッピング
- 微小接触面の摩擦特性--摩擦係数の垂直荷重依存性
- ミクロな世界の摩擦と摩耗
- 研究と開発の狭間
- 微小荷重下のトライボロジー
- マイクロトライボロジー(精密工学とトライボロジー)
- マイクロ荷重下のトライボロジー
- マイクロマシンとマイクロトライボロジー
- ナノメートルスケールの表面形状と摩擦力・引き離し力の関係
- マイクロ/ナイトライボロジー
- 走査型プローブ顕微鏡を用いたマイクロ摩擦・摩耗試験技術 (特集1 トライボロジー試験・測定技術)
- 国際マイクロトライボロジー会議(IWM2002)開催報告
- 509 自己組織化単分子膜およびラングミュア・ブロジェット膜を被覆した微小突起の摩擦特性
- 3025 MEMSアクチュエータの摩擦力測定への応用(J21 マイクロナノ理工学,J21 マイクロナノ理工学)
- 5708 フラットカンチレバーを用いた凝着力測定(J21-2 マイクロナノ理工学(2),J21 マイクロナノ理工学)
- 微小荷重下の摩擦に及ぼす凝着力の影響に関する研究
- 極小摩擦・摩耗測定の技術動向 (特集1 試験・測定機とトライボロジー)
- マイクロマシンにおけるトライボロジーの現状と展望
- 極小荷重下の摩擦力測定などマイクロマシンのトライボロジ-について (特集 動き出したマイクロマシンのキ-テクノロジ---マイクロトライボロジ-)
- マイクログリッパの開発
- マイクロ接触 (マイクロマシンとマイクロトライボロジ-) -- (マイクロトライボロジ---表面マイクロアナリシス)
- MNM-1B-7 二物質同時接触型耐摩耗プローブのトライボロジー特性評価(セッション 1B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー1)
- B-1 ナノサイズプローブ先端の電気的コンタクト特性(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- MNM-P8-1 格子間相互作用が摩擦に及ぼす影響(P8 マイクロ・ナノトライボロジー)
- MNM-2B-4 ナノパターンとマイクロパターンを付与した表面の摩擦特性(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- PS-009-4 StageIV胃癌の治療成績(PS-009 胃 手術適応-1,ポスターセッション,第112回日本外科学会定期学術集会)
- PS-372-2 80歳以上の超高齢者に対する消化管悪性腫瘍手術の検討(PS ポスターセッション,第113回日本外科学会定期学術集会)
- PS-183-3 当院における腹腔鏡補助下胃切除術の成績(PS ポスターセッション,第113回日本外科学会定期学術集会)
- J111032 摩擦によるナノストライプ表面の溝形成条件の検討([J11103]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))