Ge量子ドットを有するフリースタンディング構造Siマイクロリング共振器の作製とその光学特性の評価(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般)
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概要
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LSIの微細化の限界を光配線によって解決するため、Siを用いた発光デバイスの開発が望まれている。その要求に向け、電流注入が可能な2種類のマイクロリング共振器構造を作製し、評価を行ったので報告する。
- 2012-08-16
著者
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宇佐美 徳隆
東北大学金属材料研究所
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白木 靖寛
都市大総研
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白木 靖寛
東京都市大学
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丸泉 琢也
東京都市大
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白木 靖寛
東京都市大学工学部
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千葉 太一
東京都市大学総合研究所
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徐 学俊
東京都市大学総合研究所
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白木 靖寛
東京都市大
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